新しい高精度設計、空間測定高さ300mm

全花崗岩構造、固定橋式、移動テーブル構造、精密ボールネジを採用し、中央直線モータの駆動がアッベ誤差を効果的に減少させた場合、設備の高速性、静音性、平穏性を高め、高精度測定を実現した。

HPシリーズ搭載1:13高分解能自動同軸光光学系，非接触式映像、レーザ光及び接触式プローブの検出機能を一体化し、精密ワーク加工プロセスの二次元寸法、高さ寸法、空間寸法の正確性を全面的に確保でき、異なる製品のプロセス需要に応じて異なるソフトウェア・ハードウェアを組み合わせることで、3 C業界、液晶業界、医療業界、半導体業界などの上下流プロセスにおける異なる生産需要を満たすことができ、生産効率を高めることができる。

仕様パラメータ：